產品簡介

　　K90系列小量程流量氣體質量流量控制器/流量計由質量流量傳感器、層流原件、質量流量控制器調節閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成，其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的信號進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。用以準確可靠的測量和控制氣體質量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學化工實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領域。

　　技術特點

　　1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。

　　2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。

　　3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。

　　4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達30ln/min

　　5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。

　　6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。

　　7、可直接與上位機連接，實現組網，便于操作。

　　技術參數

　　量 程： 5…500mln/min 1…30ln/min

　　準 確 度：±1.0%F.S

　　量 程 比：流量控制器：50:1 流量計：100:1

　　重復精度：±0.2%F.S

　　線性精度：±0.5%F.S

　　響應時間：<1sec

　　穩 定 性：±0.1%F.S

　　環境溫度：5…55℃

　　溫度系數：<±0.1%F.S/℃

　　泄 漏 率：<2×10-8atm.ml/s(He)

　　預熱時間：15min

　　供 電：24vdc

　　模擬信號：0…5vdc或4…20mA

　　數字信號：液晶顯示 RS232 RS485(Modbus-RTU)

　　本體材質：SS316不銹鋼

　　最大耐壓：30bar（可選60bar）

　　連接方式：卡套式連接（可選螺紋連接 面密封VCR或其他連接方式）

　　密封材質：氟橡膠 丁晴橡膠 全氟橡膠（特殊可根據客戶要求定制）

　　技術選型

　　序 列 號： K90

　　產品類型： 【C】質量流量控制器 【M】質量流量計

　　耐壓等級： 【L】低耐壓 30bar 【H】高耐壓 60bar

　　介質類型： 由廠家選擇

　　流量范圍： 【010C】10mln/min 【020C】20mln/min 【030C】30mln/min

        　　          【050C】50mln/min 【100C】100mln/min 【200C】200mln/min

        　　          【300C】300mln/min 【500C】500mln/min 【001L】1ln/min

        　　          【002L】2ln/min 【003L】3ln/min 【005L】5ln/min

         　　         【010L】 10ln/min 【020L】20ln/min 【030L】30ln/min

　　供電類型： 【S】24vdc 【D】+15…24vdc

　　模 擬 信 號： 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA

　　數字信號： 【R】RS232 【M】RS485(Modbus-RTU)

　　密封材質： 【V】氟橡膠 【T】EPDM 【N】氯丁橡膠 【B】丁晴橡膠 【Y】其他                                    

　　接頭尺寸： 【A】φ3 【B】6 【C】8 【G】1/8” 【H】1/4” 【Y】其他