產品簡介

　　K80系列模擬型小量程氣體質量流量控制器/流量計由質量流量傳感器、層流原件、質量流量控制器調節閥和放大電路組成；用以準確可靠的測量和控制氣體質量流量，測量和控制精度高、零飄小，管狀分流，不易堵塞，適用于各種低壓和高壓管道；測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響，產品廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、冶金材料工程、能源動力，氫燃料電池、食品醫藥、煤炭、石油化工、各種分析儀器、科研院所及大學實驗室等各領域。

　　技術特點

　　1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。

　　2、管狀分流，便于更改量程，不易堵塞，安裝簡易。

　　3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性，適用于各種低壓和高壓管道。

　　4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達30ln/min

　　5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。

　　6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。

　　7、可直接與上位機連接，實現組網，便于操作

　　技術參數

　　量 程： 5…500mln/min 1…30ln/min

　　準 確 度：±1.0%F.S

　　量 程 比：流量控制器：50:1 流量計：100:1

　　重復精度：±0.2%F.S

　　線性精度：±0.5%F.S

　　響應時間：<2s

　　穩 定 性：±0.1%F.S

　　環境溫度：5…65℃

　　溫度系數：<±0.1%F.S/℃

　　泄 漏 率：<2×10-8atm.ml/s(He)

　　預熱時間：15min

　　供 電：+15…24vdc

　　模擬信號：0…5vdc或4…20mA

　　本體材質：SS316不銹鋼

　　最大耐壓：30bar（可選60bar）

　　連接方式：卡套式連接（可選螺紋連接 面密封VCR或其他連接方式）

　　密封材質：氟橡膠 丁晴橡膠 全氟橡膠（特殊可根據客戶要求定制）

　　防護等級：IP40

　　技術選型

　　序 列 號： K80

　　產品類型： 【C】質量流量控制器 【M】質量流量計

　　耐壓等級： 【L】低耐壓 30bar 【H】高耐壓 60bar

　　介質類型： 由廠家選擇

　　流量范圍： 【010C】10mln/min 【020C】20mln/min 【030C】30mln/min

                  　　【050C】50mln/min 【100C】100mln/min 【200C】200mln/min

                　　  【300C】300mln/min 【500C】500mln/min 【001L】1ln/min

                 　　 【002L】2ln/min 【003L】3ln/min 【005L】5ln/min

               　　   【010L】 10ln/min 【020L】20ln/min 【030L】30ln/min

　　供電類型： 【S】24vdc 【D】+15…24vdc

　　模 擬 信 號： 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA

　　密封材質： 【V】氟橡膠 【T】EPDM 【N】氯丁橡膠 【B】丁晴橡膠 【Y】其他                                   

　　接頭尺寸： 【A】φ3 【B】φ6 【C】φ8 【G】1/8” 【H】1/4” 【I】3/8” 【Y】其他